一、背景

       半導(dǎo)體紫外固化技術(shù)的起源可以追溯到20世紀(jì)60年代，由于紫外線固化技術(shù)需要大量的能量和特殊的設(shè)備，因此，其發(fā)展一度受到限制。直到20世紀(jì)70年代，隨著光源和光學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，人們發(fā)現(xiàn)光敏劑和樹脂之間的光化學(xué)反應(yīng)可以在瞬間完成，這使得紫外線固化技術(shù)成為了一種高效、環(huán)保的固化方法。

二、應(yīng)用概述

       在半導(dǎo)體制造中，紫外固化技術(shù)主要用于光刻工藝。光刻是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟之一，通過(guò)紫外線照射光敏化學(xué)品（光刻膠）來(lái)形成電路圖案。這個(gè)過(guò)程類似于照片沖印，光線通過(guò)包含電路圖案的掩模過(guò)濾后，投射到被光敏化學(xué)品覆蓋的晶圓上，形成所需的電路圖案?。

圖1：半導(dǎo)體生產(chǎn)

       半導(dǎo)體生產(chǎn)中，紫外固化光源的穩(wěn)定性與一致性對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。光譜儀通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)紫外光源的輸出強(qiáng)度和光譜分布變化，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)并糾正固化過(guò)程中的問(wèn)題，避免因光源強(qiáng)度波動(dòng)導(dǎo)致的固化不均勻或不充分。

       通過(guò)光譜儀監(jiān)測(cè)紫外光源的穩(wěn)定性與一致性，可以確保固化效果與產(chǎn)品質(zhì)量。例如，UV-LED光源能夠提供高達(dá)30W的點(diǎn)光源輸出，并且每小時(shí)的穩(wěn)定光譜輸出小于1‰。

       這種高穩(wěn)定性的光源能夠滿足工業(yè)中大批量、長(zhǎng)時(shí)間的生產(chǎn)需求，降低固化流程中的不良率。

圖2：紫外固化實(shí)驗(yàn)裝置

圖3：紫外固化光源光譜

三、實(shí)驗(yàn)裝置

       典型配置如下：

四、結(jié)語(yǔ)

       光譜儀在半導(dǎo)體生產(chǎn)中監(jiān)測(cè)紫外固化光源輸出強(qiáng)度變化具有重要意義。它不僅能夠確保固化效果與產(chǎn)品質(zhì)量，提高生產(chǎn)效率，降低成本，還能提升工藝控制水平，增強(qiáng)安全與環(huán)保。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，光譜儀在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的應(yīng)用將更加廣泛和深入。